应用分享 | 如何提高能谱检测碳含量的准确性

在利用SEM-EDS进行钢中碳含量检测时，常常会发现含量偏高，这主要是碳污染造成的。碳污染的主要来源有：

1. SEM样品室的有机气氛；

2. 粘样品的导电胶排出的气体；

3. 样品表面由于与外界接触产生的污染；

在进行EDS分析时，随着束流的增加，分析时间的延长，碳污染会越发严重，所得碳的定量结果也会随之升高。

如图1为某样品中碳峰强度的来源，总强度包括了样品中碳的净含量、污染、重叠峰干扰及连续X射线强度。虽然牛津仪器AZtec软件利用Tru-Q^TM技术可以准确的剥离重叠峰并扣除连续X射线的影响，但碳污染的影响仍然无法彻底消除。

图1 碳Kα峰强度检测值组成

AZtecWave为牛津仪器全新一代波谱仪，完全集成了EDS和WDS的优势。利用AZtecWave可建立C含量的校准曲线，大大提高钢中C含量测试的准确性，可用于钢铁碳含量测试、渗碳层深度测量等应用。

• 利用有标样定量法提高碳含量检测准确性
• 利用AZtecWave工作曲线法准确测量钢中碳含量

图2 AZtecWave硬件外形及软件定量分析界面

本篇应用报告将以某工具钢样品为例，详细介绍上述方法及各自特点，点击文末阅读原文，下载完整应用报告。

Ultim Max

Ultim Max是新一代硅漂移型探测器（SDD)，配有大面积晶体和低噪音电子元器件，分析速度和探测灵敏性都有大幅提升。

• 最大晶体有效面积170mm2，极大提高探测器灵敏度
• 可在400,000cps下进行准确的定性定量分析
• 适合低电压分析，提高能谱空间分辨率
• 针对粉末冶金、3D打印材料颗粒物自动统计分析的解决方案

AZtecWave

AZtecWave结合了波谱仪解析X射线谱峰灵敏性、微量及痕量元素准确性以及能谱仪检测元素时的高速及高灵活性的优势。

• 具有罗兰圆几何和弯曲晶体的全聚焦波谱仪
  
• 出色的能量分辨率，可完全解析高密度的X射线谱线
• 较高的峰背比意味着检测限低于100ppm
• 电动入射狭缝可优化分辨率和峰背比
• 倾斜几何结构实现快速分析，可重复性高及样品定位更容易

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